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天眼查App显示，安徽富乐德科技发展股份有限公司近日公开了一项名为“一种半导体不锈钢TTN膜的清洗装置及工艺”的发明专利，专利号为CN202411682224.5。该技术由李帅雨、贺贤汉和张继月共同发明，旨在提高半导体不锈钢TTN膜的清洗效率和效果。

该清洗装置包括自动机械臂、浸泡篮以及按工艺步骤顺序设置的化学混液浸泡槽一、纯水漂洗槽、高压水洗槽、化学混液浸泡槽二、纯水浸泡槽和吹干槽。自动机械臂设置在所有槽体的上方，工作端连接浸泡篮，实现了自动化操作，减少了人工干预。

化学混液浸泡槽一和化学混液浸泡槽二内设有超声波振板，利用超声波在液体中的空化作用、加速度作用及直进流作用对液体间接使污物层被分散、剥离而达到清洗目的。高压水洗槽内设有高压水洗喷嘴，吹干槽内设有CDA高压喷嘴，确保清洗后的部件能够快速干燥。

该装置采用了闭环流程作业，保证部件清洗的有效性。清洗槽采用了外循环过滤装置，保证循环的药液的干净，内部采用的防腐超声波振板，进一步提高了清洗效果。整个清洗装置由浸泡槽、纯水槽、高压水洗、CDA吹扫等组成，部件在浸泡篮不再通过人工进行搬送和清洗，选择好需要的作业槽体，设备可以快速完成搬送和作业。

该专利的公开标志着安徽富乐德科技在半导体清洗技术领域取得了重要突破，有望在未来的半导体制造过程中发挥重要作用。

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