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金融界2025年1月23日消息,国家知识产权局信息显示,海目星激光科技集团股份有限公司取得一项名为“一种晶圆扩膜机构”的专利,授权公告号 CN 222320189 U ,申请日期为 2023 年 12 月。
专利摘要显示,本申请公开一种晶圆扩膜机构,涉及晶圆加工技术领域,该晶圆扩膜机构包括膜材吸附平台以及至少三个夹持拉伸模组,至少三个夹持拉伸模组沿目标圆的圆周方向均匀分布在膜材吸附平台的周围,且每一个夹持拉伸模组能够在所在的方位夹持膜材吸附平台上的膜材并沿目标圆的径向拉伸膜材,目标圆以膜材吸附平台的中心为圆心本技术方案其可自动实现晶圆扩膜操作的同时可根据需求去控制扩晶的间距,以及保证芯片在膜材上整齐排布。
天眼查资料显示,海目星激光科技集团股份有限公司,成立于2008年,位于深圳市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本24660.46万人民币,实缴资本20396.2万人民币。通过天眼查大数据分析,海目星激光科技集团股份有限公司共对外投资了29家企业,参与招投标项目182次,知识产权方面有商标信息48条,专利信息1488条,此外企业还拥有行政许可27个。
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